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      四探針法測試半導體薄膜材料電導率性質
      來源: | 作者:pmo5b1934 | 發布時間: 2019-07-05 | 4053 次瀏覽 | 分享到:

       

      四探針法測試半導體薄膜材料電導率性質

       

       

       

      材料分類:

      目前我們比較熟悉的薄膜半導體材料主要有以下這些:根據材料本身的用途和性質劃分

      覆蓋膜;導電高分子膜,高、低溫電熱膜;

      隔熱、防輻射導電窗膜 導電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;

      金屬化標簽、合金類箔膜;熔煉、燒結、濺射、涂覆、涂布層,電阻式、電容式觸屏薄膜; 

      導電薄膜(ITO導電膜玻璃等),金屬膜,導電漆膜,蒸發鋁膜,PCB銅箔膜,EMI涂層等物質的薄層

       

       

       

       

       

      材料特點:

      靠電子和空穴兩種載流子實現導電,室溫時電阻率一般在10-5~107歐·米之間。通常電阻率隨溫度升高而增大;若摻入活性雜質或用光、射線輻照,可使其電阻率有幾個數量級的變化

      半導體材料的導電性對外界條件(如熱、光、電、磁等因素)的變化非常敏感,據此可以制造各種敏感元件,用于信息轉換。半導體材料的特性參數有禁帶寬度、電阻率、載流子遷移率、非平衡載流子壽命和位錯密度.

       

       

      測試方法:

      目前一般采用4探針法來測薄膜材料的電導率性質,這是目前國際同行比較認可且成熟的測試方法;

       

      與傳統的四端法相比,四探針法解決了測試過程中存在的接觸電阻問題,也就是說,四根探針同時接觸于樣品表面對樣品進行電流和電壓激勵測試;消除接觸電阻,是一種進步的測試方法,應用于半導體行業比較多.

      四探針法能很好描述薄膜材料的導電性質變化趨勢,測試方法如下:

      1.將儀器開啟,并用標準電阻法校準儀器,確定儀器是否正常.

      2.設定好薄膜的厚度,探針間距、電壓根據需要選擇高,中,低檔位;選擇探頭形狀;方形還是直線形探針.

       

      3.確定好后,連接好測試探頭,通過上下微調節探頭平臺,使探針與樣品接觸,

      4.待數據穩定后讀取數據,方阻值,電阻率,電導率數據.

      5.測試完畢后,清理并整理儀器恢復開啟前狀態.

      6.下圖FT-341  四探針測試儀結構說明,

       

      配合PC軟件分析數據

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